セミナー情報

微細化が進む半導体製造プロセスにおいては、材料由来のわずかな差異が性能や歩留まりに大きな影響を与えます。本ウェビナーでは、質量分析を用いたフォトレジストポリマーの組成・構造解析と、洗浄液中に含まれる微量不純物検査の分析事例を紹介します。またスペクトル解釈を可視化するケンドリックマスディフェクト（KMD）解析や､機械学習を用いたAI構造解析により、高度な分析を簡便に実現する分析フローについて解説します。

本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。皆さまのご参加をお待ちしております。