NexION 1100
| シリーズ | NexION 1100 |
|---|---|
| 本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm |
810×720×730 |
| 重さ | 150kg |
| 電源 | 単相 200V 20A×1 15A×1(コンピュータ、プリンター除く) |
| 排気容量 | 最大4.3m3/分 |
| Arガス | 20L / 分以下(純度99.996%以上) |
| セルガス | 7mL / 分以下(純度99.999%以上) |
| 希望小売価格 (税抜) |
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