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光波動場三次元顕微鏡 MINUK

大塚電子 / 大塚電子
ID:K04576
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非破壊・非接触・非侵襲で測定でnｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能

MINUK

    MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
    さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。

  • nｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
  • 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
  • フォーカス不要で高速測定が可能
  • 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
  • 任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易

仕様

シリーズ MINUK
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm		 505×630×439　±20ｍｍ
*PC、付属品は含まず
重さ 41kg
電源 本体：290VA
*PC、付属品は含まず
分解能 x,y 691nm（ワンショット）、488nm（合成）
視野 x,y 700×700μm
分解能 z 10nm（位相差）
視野 z ±700μm
サンプルサイズ 100×80×t20mm（汎用サンプルホルダ取付時）
サンプルステージ 微動XYステージ（自動）
X：±10mm Y：±10mm
粗動ステージ
X：129mm Y：85mm
レーザー 波長：638nm
出力：0.39mW 以下、Class1 (測定試料への照射強度)
希望小売価格
（税抜）		 お問い合わせ

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