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UVオゾンクリーナー

Filgen（フィルジェン） / フィルジェン

ID:K03483

メーカーサイト
カタログ (PDF)

2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去

超音波洗浄だけでは除去できなかった基板上の有機汚染物質を容易に除去できます。
湿式洗浄で使⽤した有機溶剤も除去が可能です。
基板表⾯に損傷を与えないで、有機汚染物質の除去が可能です。
薄膜の製膜が容易になります。
⼤気圧で使⽤可能な、真空装置不要のドライクリーニング装置です。

仕様

シリーズ	コンパクトスタンダードタイプ	コンパクトスタンダードタイプ	コンパクトスタンダードタイプ
型番	UV253E	UV253ER	UV253V8
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	洗浄室内寸法：204×207×142 外形寸法：400×300×270
重さ	17kg		20kg
電源	100V　5A
光源：種類	低圧水銀ランプ（溶融石英）	低圧水銀ランプ（合成石英）	低圧水銀ランプ（溶融石英）
光源：形状	直管型
光源：ランプ数	3
光源：波長	184.9nm、253.7nm
紫外線強度	3.7mW/cm²（UVランプ1本あたり）		5.2mW/cm²（UVランプ1本あたり）
オプション	オゾンキラー、レギュレーター、流量計
酸素タイマー	無		デジタル式
UVタイマー	アナログ式		デジタル式
窒素タイマー（オゾン排気）	無		デジタル式
オゾンキラー連動電源コンセント	無		有
インターロック機構（扉スイッチ） UVランプ消灯	無		有
インターロック機構（扉スイッチ）電磁弁遮断	無		有
UVランプ積算タイマー	無
オゾンキラー	オプション（UV253-OZ）
希望小売価格（税抜）	お問い合わせ	お問い合わせ	お問い合わせ

シリーズ	コンパクトスタンダードタイプ	コンパクトスタンダードタイプ	コンパクトスタンダードタイプ
型番	UV253V8R	UV253H	UV253HR
本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm	洗浄室内寸法：204×207×142 外形寸法：400×300×270	洗浄室内寸法：208×205×168 外形寸法：400×370×270
重さ	20kg	30kg
電源	100V　5A
光源：種類	低圧水銀ランプ（合成石英）	低圧水銀ランプ（溶融石英）	低圧水銀ランプ（合成石英）
光源：形状	直管型	グリッド型
光源：ランプ数	3	1
光源：波長	184.9nm、253.7nm
紫外線強度	5.2mW/cm²（UVランプ1本あたり）	28mW/cm²
オプション	オゾンキラー、レギュレーター、流量計	レギュレーター、流量計
酸素タイマー	デジタル式	デジタル式（UVタイマーと共有）
UVタイマー	デジタル式	デジタル式（酸素タイマーと共有）
窒素タイマー（オゾン排気）	デジタル式
オゾンキラー連動電源コンセント	有
インターロック機構（扉スイッチ） UVランプ消灯	有
インターロック機構（扉スイッチ）電磁弁遮断	有
UVランプ積算タイマー	無	有
オゾンキラー	オプション（UV253-OZ）	標準装備
希望小売価格（税抜）	お問い合わせ	お問い合わせ	お問い合わせ

メーカーサイト
カタログ (PDF)

※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。
※価格に消費税は含まれておりません。
※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。
※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。
※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。
※製品本来の使用目的に合わせてご利用ください。
※製品によっては理化学実験の専門的な知識を必要とするものがあります。