| シリーズ | オスミウム膜専用タイプ（タッチパネル式） | オスミウム膜 / プラズマ重合膜 両用タイプ |
|---|---|---|
| 型番 | OPC-EVO | OPC80T |
| 本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm |
400×350×330 | 450×410×390 |
| 重さ | 約20kg | 約30kg |
| 電源 | 単相AC100V 50/60Hz 10A （ロータリーポンプの供給電源を含む） | 単相AC100V 50/60Hz 12A （ロータリーポンプの供給電源を含む） |
| ガス反応容器 | ガラス容器 120（φ）×73（H）mm | ガラス容器 160（φ）×150（H）mm |
| 最大試料寸法 | 33（W）×33（D）×4（H）mm又は、36（φ）×14（H）mm | 44（W）×44（D）×4（H）mm 又は、32（φ）×14（H）mm |
| SEM試料台用 陰極電極 |
大型試料用電極 10mmφ×7個又は、15mmφ×4個又は、36mmφ×1個 | マルチタイプ電極 10mmφ×2個 15mmφ×2個 及び、 32mmφ×1個を同時に製膜 |
| 生成膜厚 | 数nm～数100nm | |
| 最小膜厚設定 | 超薄膜モード：0.1nm～、通常モード：1nm～ | |
| 生成膜 | オスミウム薄膜 | オスミウム薄膜、プラズマ重合膜（ナフタレン） |
| 四酸化オスミウム 昇華室 |
残量確認窓付密封脱着構造（脱着後冷凍保存可） | |
| ナフタレン昇華室 | ー | ヒーター付、残量確認窓付脱着構造 |
| ガス導入方式 | 四酸化オスミウム結晶を専用昇華室で昇華させて導入 | 四酸化オスミウム結晶、又は ナフタレン結晶を専用昇華室で昇華させて導入 |
| 希望小売価格 （税抜） |
お問い合わせ | お問い合わせ |
| タッチパネル式（EVO） | スイッチ式（OPC60A、OPC80T） | |
| 操作の説明 | タッチパネル上で確認（日英対応） | 紙のマニュアルを確認 |
| 膜厚の再現性 | ||
| 積層モード | 自動で繰り返し製膜が可能 | 手動 |
| 超薄膜製膜機構 | 標準搭載 | オプション（装置本体とは別に費用が追加） |
| 親水化処理機構 | 標準搭載 | オプション（装置本体とは別に費用が追加） |
| メンテナンス | ロータリーポンプのオイル、フィルターの交換時期をタッチパネル画面でお知らせ | ユーザー自身での管理が必要 |
| セキュリティー | パスワードで使用者を制限 | なし |
| 安全性 | ||
| OPC-EVO | OPC80T | |
| 電源 | AC100V 50Hz（60Hz） 200W | AC100V 50Hz（60Hz） 550W |
| 全負荷電流 | 単相 5.6A（4.8A） | 単相 9.0A（8.4A） |
| 排気速度 | 50L（60L）/min | 200L（240L）/min |
|
外形寸法 (W)x(D)x(H)mm |
170×400×580 | 170×520×560 |
| 重さ | 約18kg | 約31kg |
/
※お問い合わせは完了しておりません。
/
※お問い合わせは完了しておりません。
/
※お問い合わせは完了しておりません。
