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ID: M03289
日立ハイテクサイエンス日立ハイテクサイエンス

蛍光X線分析装置 EA6000VX

基板全面に渡る有害物質の管理や、特定部位に絞った微小部の測定などに対応

 

EA6000VX

  • 高速マッピング
    最大15万cpsの高計数率検出器による高感度測定と、最大250×200mmエリアをマッピング可能な高速ステージにより、高速マッピング測定が可能です。100×100mmエリアでは、実装基板の端子に含まれる鉛を2~3分で検出し、部位を特定可能です。
  • 連続多点測定
    最大500点の位置を指定することができ、オートサンプラのように連続多点測定を行うことが可能です。大量の試料を測定するときも、絶大なスループットを発揮します。
  • 微小部測定
    FTシリーズで定評があるめっきの膜厚測定にも、EA6000VXは対応しています。極薄Auめっきなどの膜厚測定はもちろん、めっき中に含まれるPbなどの有害物質分析を膜厚測定と同時に 行うことも可能です。たとえばPbフリーはんだめっきやリードフレームのSnめっき、無電解Niめっき中に含まれる有害物質の濃度測定が可能です。

仕様
シリーズ EA6000VX
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm
750×740×783
重さ 160kg
電源 AC100~240V 50/60Hz 400VA
測定元素 原子番号Na(11)~U(92) *Heパージオプション
試料形態 液体・粉体・固体
線源 小型空冷式X線管球(Rh or Wターゲット)
管電圧50kV(可変)
管電流20~1,000µA
X線照射向き 上面垂直照射型
検出器 Vortex(SDD検出器) *液化窒素不要
分析領域 0.2、0.5、1.2、3.0mmφ(自動切替え)
試料観察 高解像度CCDカメラ 2系統
フィルタ 6モード電動切り替え
最大試料サイズ
(W)×(D)×(H)mm
250×200×150
サンプルチェンジャ 連続多点測定機能
希望小売価格 14,600,000円~
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