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高分解能X線回折装置 X’Pert3 MRD

Malvern Panalytical（マルバーン パナリティカル） / スペクトリス マルバーン・パナリティカル事業部
ID:K02863
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エピタキシャル膜の歪み解析などエピタキシャル薄膜の分析に最適

X’Pert3 MRD

  • 4インチウエハの全面XYマップ（MRD）と8インチウエハの全面XYマップ（MRDXL）
  • 幅広い測定に対応するPrefix光学系モジュール
  • 薄膜研究の初期段階、面内配向や教点図からエピタキシャル膜の歪み解析などエピタキシャル薄膜の分析に最適のツール
  • 超高速な逆格子マップにより極薄膜の測定が可能

仕様

シリーズ X’Pert3 MRD
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm		 1,370×1,131×1,947
重さ 1,150kg
電源 本体：200V 単相　冷却水：200V 三相
循環装置 室内水冷、空冷又は室外空冷
X線管球 Cu、Co
装置構成 試料垂直 ω-2Θ ゴニオメータ
半導体検出 PIXcel
5軸（φχXYZ）クレードル
オプション Texture、Reflectivity、Epitaxy
希望小売価格
（税抜）		 お問い合わせ

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  • ※製品本来の使用目的に合わせてご利用ください。
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