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顕微分光膜厚計 OPTM series

大塚電子 / 大塚電子
ID:K02299
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これからは非接触・非破壊・顕微で測定時間1秒

OPTM series

  • 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約！
  • 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
  • 1ポイント1秒以内の高速測定
  • 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
  • エリアセンサーによる安全機構
  • 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
  • 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
  • 各種カスタマイズに対応（固定ステージ、組込みヘッド仕様あり）

仕様

型番 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm		 556×566×618
重さ 66kg
電源 AC100V±10v 500VA
波長範囲 230～800nm360～1,100nm900～1,600nm
膜厚範囲*1 1nm～35μm7nm～49μm16nm～92μm
サンプルサイズ*2 Max.200mm×200mm×17mm
スポット径 Φ10μm（反射20倍レンズ）、その他
タクトタイム 1秒/1ポイント
希望小売価格
（税抜）		 13,800,000円
（税込 15,180,000円）		 13,800,000円
（税込 15,180,000円）		 13,800,000円
（税込 15,180,000円）
* 上記仕様は自動XYステージ付きの仕様となります。
*1 膜厚範囲はSiO2換算となります。
*2 300mmステージについては別途お問合せ下さい。
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メーカーカタログ
  • ※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。
  • ※価格に消費税は含まれておりません。
  • ※日本国内への販売に限らせていただきます。また、製品によっては、当社から直接販売ができない地域がございます。
  • ※会社名及び製品名は各社の商標または登録商標です。
  • ※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
  • ※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。
  • ※製品本来の使用目的に合わせてご利用ください。
  • ※製品によっては理化学実験の専門的な知識を必要とするものがあります。

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