顕微分光膜厚計 OPTM series

ID:K02299

これからは非接触・非破壊・顕微で測定時間1秒

OPTM series

  • 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約!
  • 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光学定数)
  • 1ポイント1秒以内の高速測定
  • 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系(紫外~近赤外)
  • エリアセンサーによる安全機構
  • 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
  • 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
  • 各種カスタマイズに対応(固定ステージ、組込みヘッド仕様あり)

仕様

型番 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm
556×566×618
重さ 66kg
電源 AC100V±10v 500VA
波長範囲 230~800nm360~1,100nm900~1,600nm
膜厚範囲*1 1nm~35μm7nm~49μm16nm~92μm
サンプルサイズ*2 Max.200mm×200mm×17mm
スポット径 Φ10μm(反射20倍レンズ)、その他
タクトタイム 1秒/1ポイント
希望小売価格
(税抜)
13,800,000円
(税込 15,180,000円)
13,800,000円
(税込 15,180,000円)
13,800,000円
(税込 15,180,000円)
* 上記仕様は自動XYステージ付きの仕様となります。
*1 膜厚範囲はSiO2換算となります。
*2 300mmステージについては別途お問合せ下さい。