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膜厚モニター FE-300F

大塚電子 / 大塚電子
ID:K00196
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小型で低価格！反射分光方式による簡単操作で膜厚測定！
薄膜から厚膜まで（3nm～35μm）の幅広い膜厚に対応

FE-300F

  • 小型・低価格・簡単操作で膜厚測定
  • 分光器、光源の選択により測定膜厚範囲の選択可能
  • 条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に測定可能
  • リアルタイムモニター機能やシュミレーション機能などを搭載
  • 測定スポット径φ1.2mmで、3nm～35μｍの薄膜から厚膜まで幅広い測定に対応

仕様

型番 FE-300F
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm		 280×570×350
重さ 24kg
電源 AC100V
測定項目 ・絶対反射率測定
・膜厚解析（10層）
・光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）
測定波長範囲（nm） 300～800
測定膜厚範囲（SiO2換算） 3nm～35μm
測定時間 0.1～10s以内
希望小売価格
（税抜）		 お問い合わせ

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