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ID: M01125
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超純水製造ユニット Super-Q® / Super-Q® PLUS

セミプラント、大型施設向け超純水製造装置

 

超純水製造ユニット Super-Q / Super-Q PLUS

    超純水製造装置Super-Qは、Milli-Q HX 7000シリーズで一次処理した高純水を原水として、不純物を除去し、最高純度の超純水を5~15L/分供給します。半導体メモリー、ディスク、TFTカラー液晶などの高集積化、高密度化、大画面化の研究開発、試作、評価、生産に必要な超純水を簡便、コンパクトにご利用いただけます。
    また、洗浄などで大量の超純水を必要とされるパイロットプラント向けとしても最適です。

  • 4連式カートリッジタイプで簡単な取り扱いと短時間の純度立ち上がりが可能
  • 用途により標準型、低TOCタイプ、脱パイロジェンタイプの選定が可能
  • ループ配管(超純水供給配管)を含めた汚染管理・メンテナンスを考慮したシステム構築が可能
  • 遠隔操作・採水口追加が可能

仕様
シリーズ Super-Q STD Super-Q UV Super-Q UF Super-Q UV/UF Super-Q PLUS
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm
1,150×210×720
電源 100V 50/60Hz 23A100V 50/60Hz 7A
用途 一般洗浄精密洗浄洗浄・製剤用水精密洗浄/製剤用水一般洗浄・培養
TOC値 15ppb以下*15ppb以下*
エンドトキシン 0.03EU/mL以下
採水量 5〜15L/分5〜10L/分5〜12L/分
希望小売価格 お問い合わせ お問い合わせ お問い合わせ お問い合わせ お問い合わせ
* TOC については供給水質も影響しますので弊社へお問い合わせください。

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